AMAT Centura AP ULTIMA-X HDP (S/N : 411644)

9 Sep 2020
  • MANUFACTURE : AMAT
  • MODEL : ULTIMA-X
  • VINTAGE : 2006
  • SERIAL NO : 411644
  • WAFER SIZE : 300mm
  • CATEGORY : CVD
  • STATUS : SELL

        [DESCRIPTION]        

1ProcessHDP CVD
2ChambersCH#A : HDP,  CH#B : HDP,  CH#D : HDP
3Computer SERVE (IBM X306  /  CPCI 7325)
4FI Robot2Fixed  Kawasaki
5RF GeneratorSPECTRUM (TOP/SIDE/BIAS)
6Turbo PumpSHIMADZU HX 3603
7RPSMKS (400kHZ   max 6,000W)
8CHILLERSMC THERMO CHILLER


       [PHOTO]     

                     

                

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